產品特色

●  多功能。監控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。

●  連接。利用以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產品輕松整合到您的數字工業網絡中。

●  耐用。21Q系列高壓氣體質量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環境影響的耐受性，我們可以為您的質量流量控制器構建IP66等級防護。

精度升級

量程為10 SCCM - 3000 SLPM，

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標升級：

質量流量普通精度         ± 0.6%讀數 或± 0.1%滿量程（取值）

測量和控制范圍             0.1 ~ 99%滿量程

重復性                          ± 0.1%滿量程

質量流量零點漂移        ± 0.01%滿量程/ ℃溫差

                                    ± 0.01%滿量程/ Atm壓力差

質量流量量程漂移        ± 0.01%讀 數/ ℃溫差

                                    ± 0.1 %讀 數/ Atm壓力差

技術指標

介質要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質種類    內置了98種氣體，請參考氣體兼容表

                  一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量       程    從0 ~ 10 SCCM 到 0 ~ 3000 SLPM（）

測量和控制范圍    0.5% ~ 99%滿量程

顯示流量    高達128%滿量程（取決于氣體）

可控流量    102.4%滿量程

顯  示  屏    帶集成觸摸板的單色LCD或彩色TFT顯示器

顯示方式    同時顯示質量流量、體積流量、壓力和溫度

精       度    ± 2%滿量程  精度升級見上段

重  復  性    ± 2%滿量程

零點漂移&滿量程漂移    0.02% 滿量程/ ℃/ Atm

響應時間    優于100 ms

預熱時間    ＜1s

標定工況    25 ℃&1Atm（其它標況可調）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫選項至100℃）

溫度精度    ± 0.75℃

工作濕度    0 ~ 99%

工作壓力    320 psia

滿量程壓損    參考詳細壓損表

數據刷新頻率    數字信號40Hz@19200波特率；

                         模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10Hz

數字輸入/輸出信號    RS-232、RS-485、Modbus RTU、PROFIBUS、EtherNet/IP、DeviceNet、Modbus TCP/IP、EtherCAT

模擬輸入/輸出信號    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

模擬信號精度    在基礎誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差

供電電壓     12 - 30 VDC （15 - 30 VDC用于4 - 20 mA輸出）

供電電流    0.250 A

電氣接口    DB9，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN、8-pin M12

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       質    303和302不銹鋼、Viton®、熱固化硅橡膠、玻璃增強聚苯硫醚、熱固化環氧樹脂、鋁、金、黃銅、430FR 不銹鋼、硅、玻璃。如果您申請需要其它材料，請聯系我們。

過程連接    詳情參考壓損表

安裝方式    對位置無要求

防護等級    IP40

認       證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）

 *如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢