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美國MKS控制應用技術(上海)有限公司
點擊次數:9471 發布時間:2013-2-25
美國MKS INSTRUMENTS成立于1961年,作為半導體零部件的供應商,在氣體、真空儀器及制程控制應用等方面有技術獨到之處,美*機儀器MKS INSTRUMENTS產品起源于壓力測量和控制核心技術,延伸到材料遞送、氣體成分分析、靜電荷控制、工藝控制、信息管理、電源和反應氣體發生器及真空技術,其產品廣泛地應用于各種半導體生產設備和制造過程中。上海MKS經銷專業供應美國MKS流量計 美國MKS薄膜真空計 美國MKS傳感器 美國MKS流量控制閥 美國MKS壓力開關代表型號:AX7690,AX3060,AX7610,AX2500,AX2600,AX7670,AX7680,AX7685,AX7645,LIQUOZON,NOVA-25,NOVA-50,SPECTRUM B5002, SPECTRUM B11002,ACG-3B,ACG-6B,ACG-10B,GHW-12,GHW-25,GHW-50,SPECTRUM 3013,SUREPOWER QL3513.....
閥門
MKS是一家的高可靠性,高精度不銹鋼真空隔離閥和壓力控制閥。MKS系列真空隔離閥,波紋管和球閥,手動,氣動和電動氣動執行機構閥門在加熱或不加熱的角度和內嵌的配置,安全切斷閥和軟啟動閥。我們的壓力控制閥生產線包括擺,蝴蝶,葉片和閥芯節流閥集成控制子系統。
壓力/真空測量的Baratron®直接壓力/真空電容壓力計 HPS®真空傳感器,儀表,傳感器和控制器
MKS是壓力和真空測量領域的。在的MKS家庭的壓力和真空測量儀器的Baratron®電容壓力表,壓力傳感器,壓力開關,壓力控制子系統,真空壓力表,真空壓力傳感器,真空壓力表控制器。
殘余氣體分析/質譜法RGA原位過程監測,泄漏檢測與分析
RGA在原位過程監測
MKS 質譜氣體分析儀產品創新的原位過程監測儀器*集成的,應用程序特定的軟件包,包括成分的殘留氣體分析儀(個RGAs),網絡功能的RGA的分析設備和工藝的RGAs和控制軟件。
- 真空監測和電子診斷
- 超高真空(UHV)
- CVD過程
- 真空基線RGA
- 離子注入
- 光致抗蝕劑檢測
- 高壓RGA
- PVD
- 蝕刻
- 擴散
- 轉移室監控
- 泄漏檢測
- 大氣壓力氣體分析
FTIR,NDIR紅外氣體分析儀器
FTIR(傅立葉變換紅外)和NDIR(非色散紅外)實時的時間和在線氣體分析儀器從MKS儀器能夠為多個氣體種類,包括NF 3,NH 3,H 2,NO和N 2個ppb到ppm靈敏度O和高達30%的水與氣體。
GLM™-2000 少數載流子壽命監視器真穩態少數載流子的壽命(Gtau),光導率的上升和衰減及薄膜電阻
放大
GLM™-2000少數載流子壽命監控器是一種精密儀器,采用了的變壓器耦合光電導方法,同時測量真穩態少數載流子的壽命(Gtau測量),光導率的上升和下降及薄膜電阻。這需要現有的業界*的計量方法,并結合高速電子固態照明技術,噪聲抑制,以及強大的的食譜驅動軟件是一個工具,操作方便,簡單易懂,和可重復的結果導致。
用于晶體硅光伏電池的硅的質量有直接的影響的質量,或轉換效率,(太陽能電池)的zui終產品。我們的目標是盡可能多的入射能量,或載體轉移,電路的輸出或細胞。做到這一點,在一部分中,通過zui小化任何重組的載體。電信運營商重組,當他們接觸過的缺陷或雜質的硅。重組時間從細胞的電勢輸出電流。
少數載流子壽命測量,是一種定量評估的基礎硅的質量,因為較低的少數載流子壽命是在硅中的雜質和缺陷的跡象。此外,測量薄層電阻和光電導衰減(PCD)進一步提供對表面復合的影響的信息,并作為切割檢查通過ARC沉積的光伏電池的制造過程中的質量從。
控制系統,工業自動化控制器,嵌入式Analytics(分析),I / O,網關,緊湊型PCI網絡監視器,工業以太網,以太網/ IP和DeviceNet,Profibus,Modbus總線,EtherCAT中,CAN,Linux的,HSMS,SECS,接口
新的特色產品:ECM2控制平臺。
先鋒產業平臺,控制,通信協議和網關技術,MKS的關鍵組成部分和經驗,為分布式控制和過程監控為我們的客戶提供的技術,個性化他們的具體要求。此外,商業“現成的”產品使我們的客戶能夠快速部署的解決方案,通過易于使用的平臺。
MKS Instruments公司的控制和自動化產品團隊可以幫助您定義,設計和制造下一代控制器。我們專注于提供的高密度混合I / O以zui快的現場總線網絡技術相結合,為您帶來一個控制器,這將節省您的成本比當前解決方案,將大大減少你的時間,市場。
現場總線
以太網現場總線控制器連接到您的網絡正在改變。EtherCAT技術的DeviceNet™,以太網/ IP™,PROFIBUS,MODBUS-TCP,可以打開網絡所支持的MKS Instruments公司的成套控制產品。
混合高密度I / O
MKS Instruments公司的控制產品包含混合I / O,讓您以在市場上每點的高密度。高分辨率和高度的模擬和數字I / O,加干觸點繼電器和溫度的I / O控制器建立一個靈活的環境,你所需要的具體規格。
嵌入式邏輯
MKS Instruments公司的產品支持PLC IEC61131-3標準,以及MKS'的自己cLogic®嵌入式應用程序。這些平臺讓你寫你的梯形圖,功能塊圖,結構化文本和ANSI C控制算法,同時給你zui大的靈活性和功能。我們的應用工程師寫的一些常見用途的范例程式碼(PID,PWM,計數器等),所以你不必。
RTOS和Linux操作系統
MKS Instruments公司的控制和自動化產品套件可與實時操作系統(RTOS)和Linux操作系統平臺。