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| 型號 | CNC654 | CNC754 | CNC854 | CNC866 | CNC1066 | CNC1086 | CNC1086 |
| 測量范圍而（mm） | X 500 | X 500 | X 500 | X 600 | X 600 | X 800 | X 800 |
| Y 600 | Y 700 | Y 800 | Y 800 | Y 1000 | Y 1000 | Y 1200 | |
| Z 400 | Z 400 | Z 400 | Z 600 | Z 600 | Z 600 | Z 600 | |
| 外形尺寸（mm） | X 1250 | X 1250 | X 1250 | X 1350 | X 1350 | X 1550 | X 1500 |
| Y 1500 | Y 1600 | Y 1700 | Y 1750 | Y 1950 | Y 1950 | Y 2150 | |
| Z 2500 | Z 2500 | Z 2500 | Z 2900 | Z 2900 | Z 2900 | Z 2900 | |
| 分辨率 | 0.5 | ||||||
| 示值誤差 | 2.5+L/250 | 2.7+L/250 | 2.7+L/250 | 2.8+L/200 | 2.8+L/200 | 2.9+L/200 | 3.0+L/200 |
| 空氣壓力（kg/cm²,NL/min） | 0.6~0.8Mpa | ||||||
| 承受重量（kg） | 500 | 500 | 500 | 800 | 800 | 1000 | 1000 |
| 儀器重量（kg） | 650 | 700 | 750 | 1300 | 1300 | 1700 | 1900 |
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