QQ交談
產品展示
【簡單介紹】
1專為有效負載大,負載重心偏離機架中心線的應用設計
2十字交叉結構,剛性穩定性引人注目,幾何特性*
3所有軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
4行程達1米
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6可集成包括花崗巖的XY子系統
行程≤1000mm
精度±0.50um
重復定位精度±0.20um
直線度±0.40um
平面度±0.40
【詳細說明】
ABL8000氣浮平臺
1專為有效負載大,負載重心偏離機架中心線的應用設計
2十字交叉結構,剛性穩定性引人注目,幾何特性*
3所有軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
4行程達1米
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6可集成包括花崗巖的XY子系統
行程≤1000mm
精度±0.50um
重復定位精度±0.20um
直線度±0.40um
平面度±0.40um
相關文檔下載
ABL9000氣浮平臺
1世上zui高性能的氣浮平臺,適用于晶片,平板顯示,光學檢測和加工等要求苛刻的場合
2所有軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
3行程達1.2米X1.2米
4Y軸雙直線電機驅動
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6主動控制偏轉
行程≤1200mm
精度±0.50um
重復定位精度±0.10um
直線度±0.50um
平面度±0.50um
相關文檔下載
AHL9000直線電機平臺
1專為晶片檢測，平板顯示加工和光學檢測及制造應用設計
2掃描軸是空氣軸承，步進軸是機械軸承
3行程達1.2米X1.2米
4雙直線電機驅動步進軸
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
行程≤350mm
精度±1.0um
重復定位精度±0.20um
直線度±0.60um
平面度±0.60um
