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【簡單介紹】
【詳細說明】
典型工藝流程 (水質符合美國ASTM標準,電子部超純水水質標準(18MΩ*cm,15MΩ*cm,2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級)· 預處理-反滲透- 水箱-增壓泵-混合床-純化水箱-純水泵-精制混床-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水點 · 預處理-一級反滲透-加藥機(PH調節)-中間水箱-第二級反滲透(正電荷反滲膜)-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-微孔過濾器-用水點 · 預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-微孔過濾器-用水點 · 預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-微孔過濾器-用水點
應用場合· 半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路; · 超純材料和超純化學試劑; · 實驗室和中試車間 · 汽車、家電表面拋光處理; · 其他高科技精微產品
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