凈化原理
RZ-YA-4D氬氣凈化機凈化機利用催化劑促使氬氣中的微量氧氣與碳反應生成二氧化碳,從而除去氬氣中的雜質氧氣,再利用分子篩吸附脫除氬氣中的H2O、CO2等雜質,再利用合金吸附劑吸附脫除氬氣中剩余的的N2等惰性雜質,即可得到高純氬氣。
氬氣凈化機的技術參數
對原料氬氣要求
一般瓶裝純氬,液氬、控制較好的管道氬氣。
雜質要求: O2≤1000PPm, H2O≤1000PPm。
輸出純氣
純度:99.9999%
雜質含量:
O2≤0.1PPm,
H2O≤1PPm(即露點≤-76℃),
N2≤0.5PPm
CO+CO2≤0.1PPm,
S、P的氧化物≤0.1PPm。
塵埃粒子數(≥0.3μm)3-5個/升。
工作壓力:0.4-0.8MPa。
處理氣量:4NM3/h。
設備尺寸:600mm×700mm×1600mm
設備重量:150kg
RZ-YA-4D氬氣凈化機特點
1) 催化劑活性高,凈化后的氣體純度高。
2) 雙式結構,一組工作另一組再生備用,故能*連續供氣。
3) 采用本機純氣吹掃的再生流程,再生不用氫,故不需機房,安全性好。
4) CZA-4C對再生具有自動功能,操作比老產品更簡單,并且不易出錯,性能也更穩定可靠。
5) CZA-4C克服了老產品偶爾會產生“假斷偶保護”使再生不能進行的缺點。
6) 系統采用零泄露的波紋管閥門,設備的可靠性更高。
7) 采用分級凈化的原理,預先除去氬氣中的活性雜質,如O2、H2O、CO2等,再深度凈化,大大延長了設備的使用壽命。
8) 增加了除氮功能,氬氣的純度更高。
CZA-4C型氬氣凈化機可與美國熱電,德國斯派克、OBFL、布魯克;瑞士ARL,牛津光譜、日本島津,北京納克,英國阿朗,北京瑞利等多家光譜儀公司生產的直讀光譜儀、熒光光譜儀、輝光光譜儀配套使用,以增強分析數據的可靠性和穩定性,同時可以較大的節省購買高純氬氣的成本。該型機器尤其適用于與帶氮通道的直讀光譜儀配套使用,同時該凈化機也可用作高純材料(如單晶硅、多晶硅、高純金屬)生產的保護氣氛。
售后服務
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瑞澤RZ-YA-4D全自動氬氣凈化機