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江蘇超日凈化設備有限公司
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我公司生產的CRS型不銹鋼硅烷燃燒洗滌塔是處理硅烷、氨氣及其他可溶性氣體的廢氣凈化設備，主要用于處理太陽能電池生產線行業以及CVD化學氣相沉積工藝所產生的廢氣。本產品具有耐腐蝕性好、機械強度高、凈化效率高、安全性可靠、運行成本低、運行噪聲低、操作維護方便、結構設計合理等特點。
| 規格型號 | CRS-1型 | CRS-2型 | CRS-3型 | CRS-4型 | |
| 高度 H | mm | 1980 | 2000 | 2300 | 2300 |
| 直徑 Φ | mm | 300 | 400 | 600 | 800 |
| 進氣口徑×數量 | mm×個 | DN65×1 | DN65×2 | DN65×3 | DN65×4 |
| 排氣口徑×數量 | mm×個 | DN65×1 | DN65×2 | DN65×3 | DN65×4 |
| 排污口徑 | mm | DN150 | DN150 | DN150 | DN150 |
| 壓縮空氣口徑 | mm | DN20 | DN20 | DN20 | DN20 |
| 壓縮空氣量 | L/min | 250 | 400 | 500 | 600 |
| 氮氣口徑 | mm | DN20 | DN20 | DN20 | DN20 |
| 氮氣補氣量 | L/min | 200 | 250 | 250 | 250 |
本產品在結構上主要由不銹鋼殼體、燃燒系統、洗滌系統和清渣系統組成。在進氣方面采用壓縮空氣加新風進氣口雙進風形式，提高產品運行效率和可靠性。在噴淋系統方面，采用循環水泵與自動補水相結合的方法，風機采用一用一備形式，這些工藝特點使得本產品在安全可靠性方面得到極大保證。內部燃燒室采用特殊的泄壓裝置，即使在內部壓力突然增大的情況下仍能正常工作，同時配備了氮氣入口，更加大了設備的安全性。在粉塵收集方面采用靜壓沉積的方法，沉積下來的粉塵通過排渣口排出，這使粉塵收集處理變得更容易、更有效。
本產品采用優質不銹鋼原料進行制造，根據硅烷與空氣接觸而自燃的特點，使硅烷在燃燒室與空氣接觸燃燒，燃燒后的氣體穿過填料層再進入燃燒塔噴淋室，經過噴霧處理，使廢氣與中和循環液接觸反應，然后進入脫液器脫液處理后由抽風機排入大氣。
控制系統及注意事項：
1.不銹鋼硅烷燃燒凈化塔必須保證負壓200Pa左右。
2.PECVD設備真空泵后面必須加裝應急燃燒筒。
3.不銹鋼硅烷燃燒凈化塔必須采用新工藝，雙風機抽風，一用一備。
4.風機進風口的電動調節閥必須與風機聯動。
5.風機進風口前必須加裝碟閥，以控制硅烷燃燒凈化裝置內負壓。
6.硅烷燃燒凈化裝置新風補風口必須加裝調節閥。
7.進氣管接口外1～1.5米處必須由可以拆裝的連接口，以防清除燃燒箱雜物而可以拆除。
處理硅烷、氨氣及其他可溶性氣體的廢氣凈化設備，主要用于處理太陽能電池生產線行業以及CVD化學氣相沉積工藝所產生的廢氣。
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