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北京華林嘉業科技有限公司
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生產主線為：腐蝕槽1、沖水槽2、輕刻槽3、沖水槽4、上下料臺，共4個清洗工位。右進右出設備。本設備電器控制部分關鍵件均采用進口優質件，性能可靠，使用壽命長；及背部設有吸風口，為防止污染空氣，用戶需外接風管抽風。本機臺是一個人機界面（觸摸屏）加PLC控制的全自動控制系統，操作者只須將清洗花籃放置于上下料工位上，再由PLC控制機械手將花籃輸送到各個工位，按照事先輸入的程序對晶片進行各工藝處理。清洗能力......
產品詳情：
項目 | 說明 | ||
機臺型號 | CGB-WBXX-XXXX； | ||
機臺數量 | 1臺（套）； | ||
機臺重量 | XX； | ||
清洗能力（采購方提供cassette樣品） | 6 inch 8inch 2 cassette / Batch 25 Pcs/cassette； 片盒采購方提供； | ||
圓片厚度范圍 | 6寸：150微米-300微米；8寸：150微米-300微米； | ||
片架 | 6寸8寸為25片標準片架，8吋卡塞型號：192A型； | ||
功能 | 本設備為全新設備，用于6吋和8吋超薄片硅腐蝕、HF處理、純水沖水； | ||
產能要求 | 濕法制程清洗工藝XXXX Pcs /月（按照30min/Run，50PCS/Run，22小時/天，26天/月計算，預估值）； | ||
設備形式（潔凈度：千級潔凈室） | 室內放置型 ； | ||
機臺封面、主要結構材質 | 聚丙烯磁白PP （）； | ||
阻燃聚丙烯PP（）； | |||
阻燃米黃色聚氯乙烯PVC（√）； | |||
SUS304單鏡面板材（）； | |||
機臺視窗 | 材質 | 透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC （√）； | |
SUS304單鏡面板材及鋼化玻璃（） ； | |||
模式 | 上下舉升式（）； | ||
單（雙）門對開式（）； | |||
左右推拉式（√）； | |||
機臺主機強度結構 | 碳鋼結構骨架； | ||
防漏盤 | 材質 | 聚丙烯磁白PP板材； | |
模式 | 分體式 每側尺寸比設備本體長50mm； | ||
漏液檢測裝置 | 材質 | 防腐材質； | |
點式 | 單點式； | ||
其它 | 水平調整 | 通過地腳調整設備水平； | |
設備移動 | 設備裝有樹脂腳輪以備設備移動之用； | ||
臺面板 | 材質 | ￠12mm左右洞洞結構 聚丙烯磁白PP板材（）； | |
￠12mm左右洞洞結構 阻燃聚丙烯PP板材（）； | |||
￠12mm左右洞洞結構 阻燃米黃色聚氯乙烯PVC板材（√）； | |||
相鄰槽之間須有接水板，接水板須傾斜放置，用以盛接花籃經過時漏液（）； | |||
￠12mm左右洞洞結構 SUS304單鏡面板材（）； | |||
模式 | 可拆式（√）； | ||
一體式（）； | |||
排風系統 | 排風口位置 | 設備后頂部（√）； | |
設備后下部（）； | |||
設備后部（）； | |||
排風通道結構 | 1.排風強勁合理設計，為了排風效果達到，排風通道內設有風量導流板； 2.為了方便操作人員根據情況及時調節排風量，操作人員可小范圍調節機臺排風背板上的可拆卸式(以便清除可能產生的結晶)排風柵欄再配合機臺視窗上的可調進氣模塊使用達到使用效果； 2.設備排風通道的底部帶排液管，冷凝回流的廢液通過管道排放至機臺U型濕區內與QDR排出的廢水混合稀釋并排放至機臺后方廠務廢水專用管道內； | ||
機臺的電控系統 | 安裝在機體的后部; 觸摸屏及電源控制開關、照明等安裝在設備正前方。各槽體的工藝過程均由PLC、觸摸屏、溫控器、傳感器等組成。設備具有上電手動操作復位功能。每個機臺可存儲X套工藝配方，操作者可通過觸摸屏調用預先編制好的工藝配方。軟件系統具有工藝配方參數設定、手動維護、自動運行、狀態監控等畫面。軟件具有報警信息、歷史記錄、維護信息等系統記錄。軟件系統具有3級加密進入權限設置：分別為設備作業員、設備工程師、工藝工程師，不可混用權限； | ||
工藝記錄儲存類型 | 工業條碼槍+PLC+觸摸屏 | 使用程序時刷條碼確認程序,完成生產工藝中參數及工藝步驟等詳細記錄存儲,便于采購方對生產產品品質管控; 程序運行記錄可定時存儲，存儲數據類型參考如下：程序號、操作者、槽體溫度、設定時間、運行時間、報警信息等（待定）。 | |
規格特點：
01）工藝說明: 自動傳動，自動方式實現槽體間傳送工件，手臂按照菜單選擇流程作業，生產部人員選取菜單進行作業，這個過程全自動進行；
02）全程自動化控制，工藝過程中沒有人工干預，保證產品性能的一致性；
03）搬運機械手的橫向移動和縱向提升均采用日本伺服馬達，閉環控制，定位精度≤1mm，可靠性高；采用雙導軌結構及線性模塊傳動，幾何曲線加減速運動，沖擊小、運動平穩；
04）搬運機械手臂單獨急停、暫停開關、系統急停開關和機械手馬達電機自動過載保護等多重保護，確保操作者的安全；
05）溢流工藝的應用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；
06）工藝柔性化設計，工藝更改方便迅速；多工藝數據庫，可供用戶使用和存儲；
07）整機在使用、運行過程中平穩、可靠、不產塵、無溢出油污等；
08）整機采用PLC控制，觸摸屏顯示，清洗槽定溫控制，過溫保護及超(兆)聲低液位保護；
09）整機采用全封閉設計。設備運行峰值噪音小且操作、維護和維修方便；
10）整機耐酸堿溶液及揮發氣體的腐蝕，電器元件正常安全使用；
11）機臺設有緊急停止回路（EMO急停按鈕，設備兩端各一個），并按照標準設置接地保護斷路器；
12）整機前后區隔離，底板傾斜設計，便于排液，處設有漏液報警，前后區域均設水槍，確保漏液及時沖洗；
13）清洗槽體及管路配有明顯標識或防錯設計，防止溶劑混用；
14）設計合理化的排風管路，使酸堿液揮發氣體的污染最小化；
15）設備內部輸水、輸氣管道管線布置于主體設備內部；
16）工藝溢流槽體都需具有外槽獨立溢流方式，需采用四面溢流；如果無法實現，至少需要三面溢流；
17）軟件具有防呆功能；
18）搬運機械手臂設有防夾防撞預警裝置（光電傳感器、機械傳感器、機械裝置等），以保護操作人員安全；
19) 設備后方、左右兩側需留有方便維護、維修的窗口；
20) 機臺上下料區配水***2把；
21) 機臺排風口處安裝排風壓力監測裝置（帶信號報警裝置）；
22) 機臺總進口處（N2或CDA）安裝有壓力監測裝置（帶信號報警裝置）；
23) 工藝槽槽底傾斜式，便于排空；
24) Cassette transfer time < 5sec；
25) 機臺電器部分具備正壓N2保護，防止腐蝕；
26）具有作業記錄功能，可以 USB 接口 U 盤調取，配置攝像頭，并配置硬盤用于視頻保存，視頻保留時間不少于 30 天；
27）兩個藥業槽工藝時間到后有聲光提示；
28）機臺地腳做防腐處理：1.噴防腐漆，2.增加PP防護盒；
29）供液系統人工換桶時防止廢液回流，加裝收集桶；
30）機臺具備漏液監測功能，如發生漏液報警時自動關閉排液功能；
31) Cassette搬運使用工裝方式；
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