一、什么是超純水：

    超純水是為了研制超純材料（半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等）應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術生產出來的水，其電阻率大于18 MΩcm，或接近18.3 MΩcm極限值（25℃）。簡單得說就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水  。這樣的水是一般工藝很難達到的程度，理論上可以采用二級反滲透再經過串聯的混合型交換樹脂柱對二次反滲水進行處理，但是交換樹脂的再生不便，質量難以保證。

二、為什么超純水需要氮氣保護：

    超純水系統中為什么需要用氮封水箱?我們都知道空氣中含有二氧化碳、細菌、塵埃等雜質，而超純水為純的溶劑，對這些雜質的溶解能力很強，故一旦超純水與空氣接觸，就會使其電阻率迅速下降，實踐證明15MΩ.cm以上的超純水暴露在空氣中1分鐘后水質就會下降至3-4MΩ.cm，3分鐘以后就會下降到2MΩ.cm左右。因此超純水的儲存容器需確保水體與空氣的接觸，而氮封水箱是常見，實施簡單，效果好。

    超純水氮封水箱是將一定量的氮氣充入密封的水箱內，水箱內氮氣壓力不大于1Kpa，氮氣是惰性氣體能防止CO2等其它物質溶入水中影響水質，保證水箱內的水不受二次污染而導致水質下降。

三、超純水的應用范圍：

  1、電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領域。

  2、化工工藝用水、化學藥劑、化妝品等。

  3、單晶硅、半導體晶片切割制造、半導體芯片、半導體封裝 、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件 、電容器潔凈產品及各種元器件等生產工藝。

四、氮封系統簡介：

    LKZZYVP-16B超純水水箱氮封系統閥由ZZYVP-16B供氮閥、ZZVP-16K泄氮閥和HXF-10呼吸閥三部份組成，形成二次保護裝置。供氮閥一般設定壓力1KPa，泄氮閥設定壓力2Kpa，呼吸閥設定壓力+3KPa/-298Pa。

1、供氮閥介紹：

    氮封系統是一套無需外加能源，利用被調介質本身壓力變化而實現自動調節，使閥后壓力恒定，整機具有動作靈敏、控制壓力波動小、節約能源。它由供氮閥、泄氮閥和呼吸閥三部份組成，形成二次保護裝置。

    LKZZYVP-16B超純水水箱氮封系統閥是一套自力式微壓力控制系統， 用于保持容器頂部保護氣(一般為氮氣)的壓力恒定，以避免容器內物料與空氣直接觸，防止物料揮發，被告氧化，以及容器的安全。應用各類大型儲罐的氣封保護系統。當罐內壓力降低時，供氮閥打開補充罐內氮氣壓力；當罐內壓力超高時，泄氮閥打開自動泄壓。始終保護罐內壓力恒定。

    采用動力源與信號點分開檢測的方法，外加可調節流裝置，使整臺閥門的調節精度大大提高，減壓比最大可達2000:1。廣泛應用于各種氣體減壓穩壓的自動控制場合，特別適合作為氮封的供氮閥使用，具有持續供氮壓力波動小、反應靈敏等特點。

2、泄氮閥介紹：

    主要用于超純水箱氮封系統泄壓用，當水箱內壓力超高時，自動打開泄壓，以保護水箱安全性，與呼吸閥的工作原理一致。

    它主要由執行機構、下閥蓋、閥體、閥內件等部件組成。整體為內取壓式，無需像供氮閥另接導壓管進行壓反饋。使用安全更方便。

四、超線水箱氮封系統整體工作原理：

    當儲罐出水閥開啟，放料時，液面下降，氣相部分容積增大，罐內氮氣壓力降低，ZZYVP-16B供氮閥開啟，向儲罐注入氮氣，罐內氮氣壓力上升，當罐內壓力上升至供氮閥壓力設定值時，供氮閥自動關閉。

    當儲罐進水閥開啟，進料時，液面上降，氣相部份容積減小，罐內壓力升高，當高于ZZVP-16K泄氮閥壓力設定值時，泄氮閥打開，向外界釋放氮氣，罐內氮氣壓力下降，降至泄氮閥壓力設定值時，泄氮閥自動關閉。

五、安裝、維護與調試：

1、安裝：

  （1）檢查整機零件是否缺損與松動，對使用有害人體健康的介質，必須進行強度、密封、泄漏與精度測試。

  （2）在安裝前，對管道進行清洗（否則由于焊渣等管道垃圾，損壞閥芯密封面，導致閥門不能正常工作），閥門入口處要有足夠的直管段，并配有過濾器。閥體與管道的法蘭連接，要注意同軸度。

  （3）安裝場地應考慮到人員與設備的安全，即便于操作，又有利于拆裝與維修。

  （4）閥門應正立垂直安裝在水平管道上，導壓管必須安裝在距離閥出口至少六倍于公稱通徑的閥后管道上。閥自重較大與有振動的場合，要用支撐架，盡量避免水平安裝。

  （5）介質流動方向應與閥體上的箭頭指向一致。因微壓閥屬于精密儀表，其中膜片直接承受介質壓力，若閥門反裝或管道有反沖壓力，則膜片由于受壓過高導致膜片損壞，閥門不能工作。閥門應在環境溫度-25～+55℃場所使用。

  （6）為使自控系統失靈或檢修閥門時，仍能連續生產，應設置旁路閥。

 2、維護：

  （1）清洗閥門：對清洗一般介質，只要用水洗凈就可以。但對清洗有害健康的介質，首先要了解其性質，在選用相應的清洗辦法。

  （2）閥門的拆卸：將外露表面生銹的零件先除銹，但在除銹前，要保護好閥座、閥芯、閥桿與推桿等精密零件的加工表面。拆裝閥座時應使用專用工具。

（3）閥芯、閥座：二密封面有較小的銹斑與磨損，可用機械加工的方法進行修理，如損壞嚴重必須換新。但不管修理或更換后的硬密封面，都必須進行研磨。

（4）閥桿：表面損壞，必須換新。

（5）壓縮彈簧：如有裂紋等影響強度的缺陷，必須換新。

（6）易損零件：密封墊片與O型圈，每次檢修時，全部換新。膜片必須檢查是否有可能發生裂紋、老化與腐蝕等痕跡，根據檢驗結果，決定是否更換，但膜片使用期一般最多2～3年。

（7）閥門組裝要注意對中，螺栓要在對角線上擰緊，滑動部分要加潤滑油。組裝后應按產品出廠測試項目與方法調試，并在這期間，可更準確地調整填料壓緊力與閥芯關閉位置。

3、調試：

    所需要壓力值是對執行器頂部的調節螺桿或螺母的操作而得到調整，打開頂部的防塵蓋，用扳手調整調節螺桿或螺母。順時針方向旋轉使設定壓力增大，逆時針旋轉則使設定壓力減小。安裝在微、差壓調節閥后的壓力表，可使工作人員借以觀察調整后的壓力設定值。

4、注意事項：

  （1）嚴禁調壓閥安裝后再進行焊接。

  （2）調壓閥投入運行前特別注意沖刷、清洗管道，防止焊渣、污物、卡在節流口，破壞密封面。造成使用前密封面先損壞，調壓閥失效的現象。

  （3）沖洗管道時應使調壓閥處于全開位置，便于污物、硬渣通過。

六、訂貨時請注明下列內容：:

  （1）閥門型號

  （2）通徑×閥座尺寸Kv值

  （3）閥體壓力及連接形式

  （4）閥體和閥內組件的材料

  （5）閥特性及閥芯的形式

  （6）上閥蓋形式

  （7）執行機構形式，是否帶手輪機構及供氣壓力

  （8）正/反作用（氣關式或氣開式）

  （9）附件（帶過濾器減壓閥等）

  （10）特殊要求（禁水處理，禁銅等）

  （11）介質名稱

  （12）正常流量及最大流量

  （13）介質壓力，閥全開和全閉時閥進口和出口壓力

  （14）介質溫度和比重

  （15）介質粘度，是否