陳霞
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日本電子技研iwatsu電容式位移計ST-3541
ST-3541采用“無源型"，探頭中沒有內置電路。因此，穩定性大大提高。此外，由于沒有電路部件，因此緊湊且具有用于結合的z佳結構。
它是納米位移測量，精密工作臺位置檢測/姿態控制，平面度和厚度測量的理想選擇。
下圖是在25測量在恒溫浴組穩定性的一例℃。
您可以看到已經進行了12小時的長時間穩定測量。
![[圖] ST-3541 + ST-0403-100穩定性數據](https://www.iti.iwatsu.co.jp/ja/products/st/images/st-3541t_photo_03.gif)
z大分辨率0.3nm-rms下
圖顯示了由步進電信號驅動的壓電元件的位移。
即使只有1 nm的小步進信號，也可以很好地檢查響應。
1nm步進
波形：頻率0.15Hz步進寬度1nm。
頻段設定：100Hz
通過使用不需要線性化器的測量方法，可以實現出色的線性度。
較小的探頭使安裝更容易由于探頭主體沒有內置電路，因此尺寸已大大減小。
這大大擴展了結合到測量系統中的自由度。
使用的連接電纜，可以
在通道之間進行同步操作。即使使用多臺設備，也可以通過連接通道進行同步操作。同步操作可防止通道之間的干擾并穩定測量結果。
您可以減少系統構建的成本。
當使用多個通道時，只有通過按需供電才可以擴展，因此可以降低系統構建成本。
通過使用與真空兼容的定制探頭，可以測量真空中的位移。
![[圖]自定義真空探針](https://www.iti.iwatsu.co.jp/ja/products/st/images/st-3541t_photo_05.gif)
日本電子技研iwatsu電容式位移計ST-3541
應用領域
精密定位，位置檢測，半導體的姿態控制，精密處理，顯微鏡等
壓電元件的振動和振幅測量等
硅片，金屬板，精密加工零件等的平面度和厚度測量
測量軸跳動，表面跳動和精密電機的圓度等
納米位移測量
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