環保在線
詳細介紹
主要特點
TriglavTM——新開發的配備TriglavTM物鏡及探測系統的高分辨掃描電子顯微鏡
- 的無交叉模式及超高分辨率物鏡的組合，以獲得良好的成像模式
- 可變的探測系統能同時獲得各種信號
- 超高納米分辨率：0.7nm@15keV
- 極限分辨率：1nm@1keV
- 角度選擇BSE探測器能在低束能下獲得的形貌及元素襯度
- 實時電子束追蹤技術TM能優化電子束性能
- 傳統的TESCAN大視野光學器件™設計提供各種工作和顯示模式
- EquiPower™提供了優秀的電子束穩定性
- 新的肖特基場發射電子槍能使電子束流達到400nA以及實現電子束能量的快速改變
- 的探測技術可應用于的失效分析過程中
- 易損生物樣品的成像
- 磁性樣品的成像
- 優化的幾何鏡筒分布能夠獲得8’’晶圓分析手段（SEM探測，FIB微加工）
- 3D電子束技術的立體成像
- 友好的用戶界面，成熟的軟件模塊和自動化程序
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