環保在線
詳細介紹
主要特點
TriglavTM-新設計的超高分辨（UHR）電子鏡筒配置了TriglavTM物鏡和的探測系統
- 以的方式結合了三透鏡物鏡和crossover-free模式
- 的且可隨意變化的探測系統可用于同步獲取不同的信號
- 超高的納米分辨率：15keV下0.7nm，1keV下1nm
- 極限超高分辨率：1keV下1nm
- 可變角度的BSE探測器，化了低能量下能量反差
- 實時電子束追蹤(In-flight Beam TracingTM）實現了電子束的化
- 傳統的TESCAN大視野光路（Wide Field OpticalTM）設計提供了不同的工作和顯示模式
- 有效減少熱能損耗，的電子鏡筒的穩定性
- 新款的肖特基場發射電子槍現在能實現電子束電流達到400nA，且電子束能量可快速的改變
- 為失效分析檢測過程中的節點提供了的解決方案
- 適合精巧的生物樣品成像
- 可觀察磁性樣品
- 優化的鏡筒幾何學配置使得8’’晶元觀察成為可能（SEM觀察和FIB納米加工）
- 的實時三維立體成像，使用了三維電子束技術
- 友好的，成熟的SW模塊和自動化程序
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