X-Y 方向掃描范圍

90μm x 90μm（典型值），85μm（最小值）

Z 方向掃描范圍

10μm（典型值）， 9.5μm（最小值）

縱向噪音水平

<50pm RMS 值（在合適的環境，典型的成像帶寬條件下 ( 可達 625Hz)）

XY 方向閉環噪音水平

<0.15nm RMS 值（在典型的成像帶寬條件下 ( 可達 625Hz)）

XYZ 三方向的非線性

<0.5%（典型值）

樣品尺寸和固定方式

150mm 直徑，真空吸附，15mm 厚 ;

可選擇墊塊的情況下，可達 40mm 厚

150mm x 150mm 可觀測區域； 可真空吸附， 可編程進行多區域掃描，可 360 旋轉

光學系統及下針機制

5 百萬像素數字攝像頭；

180μm 至 1465μm 可視區域 ;

數字化縮放，馬達驅動聚焦 ，單軸垂直下針，軟件自動控制

信號輸入輸出

控制器內置可配置的信號輸入 / 輸出 ;

包括可定制的信號輸入輸出，數字化反饋和雙數字化鎖相放大器

單點譜線

三軸閉環控制可實現 point-and-shoot 式定位和譜線測量 ; 內置了熱調諧方式的彈性常數校準功能 ;

溫度控制

可選 -35 至 +250℃加熱 / 冷卻附件； 包括氣體充換功能；