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低溫等離子體技術作為近年來興起的新技術備受人們的關注，尤其是在處理大氣污染問題方面
低溫等離子體技術作為近年來興起的新技術備受人們的關注，尤其是在處理大氣污染問題方面。低溫等離子體法工作過程為通過氣體放電產生高能電子，當電子能量足夠高時，再與氣體分子或原子發生碰撞，就可以使幾乎所有的分子激發、電離和自由基化，產生一系列的活性基團，如O3、O·、OH·和N·等，這些高能量活性基團與污染物分子發生碰撞及氧化分解反應，短時間內就可將其降解為CO2、H2O及小分子有機物。由于該方法具有去除效率高，能量利用率高，反應設備結構簡單易操作等優點，國內外有許多研究者都致力于該方向的研究，且在處理有機廢氣、氮氧化物、硫氧化物、顆粒物、微生物污染和水中污染物等方面開展了廣泛的研究。低溫等離子體法在凈化處理低濃度大風量的有廢氣時氣展現出較好的優勢，因此在環境污染物處理領域中，被認為是有較高發展前景的*之一。
一般認為低溫等離子體降解處理VOCs的過程分為三步：首先通過氣體放電產生低溫等離子體；然后其內部的高能電子和活性基團與VOCs碰撞，使其呈高能量激發態，進而進行分解；最后，第二部反應過程中生成的不穩定物質相互碰撞反應變成相對穩定的新物質。常用的低溫等離子體產生技術主要有電子束照射法、電暈放電法及介質阻擋放電法等。
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