1、主要特點
該款設備是全自動Plasma增強CVD系統(PECVD)，連續可控溫度以及Plasma強度等，配備真空系統，可以低壓條件下實現工藝，PECVD系統能使整個實驗爐體都處于輝光產生區，輝光相對均勻等效，很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態，該設備爐管可360°旋轉，有助于粉料的燒結更均勻，可大角度傾斜，方便進出料，傾斜角度在0-35°之間，所有物料經過的管道都選用非金屬材質，如：進出料爐體選用石英材質，推料桿選用石英及聚四氟材質。
2、結構與原理圖：
結構圖
設備組成：加熱系統，Plasma系統，進料系統，出料系統，氣體控制系統，低真空系統，氣料分離系統，過濾系統，爐管轉動系統，電控操作系統。
(1)加熱系統：
該加熱系統的加熱爐體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，可用于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱，適合中低溫度加熱系統。高溫真空電阻爐溫度控制系統采用經典的閉環負反饋控制系統，控溫儀表選用智能型程序溫度調節儀表控溫，電力調制器控制;負載采用小電壓大電流控制，從而大大提高了加熱元件的壽命，測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數，無須操作人員的干預，可自行根據不同溫度曲線的升、降溫要求調整輸出信號，同時系統設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能，大大降低了對操作人員經驗的要求。
| 額定功率 | 4KW |
| 額定電壓 | AC220V 50/60Hz |
| 額定溫度 | 1200度 |
| 使用溫度 | 1100度 |
| 設備尺寸 | 長*寬*高 2100*600*1200mm |
| 爐管尺寸 | ?60*420*2+?100*360mm* |
| 爐管旋轉速率 | 0~60r/min |
| 爐體傾斜角度 | 0~35° |
| 爐膛材料 | 氧化鋁、高溫纖維制品 |
| 熱電偶類型 | K型熱電偶 |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 控溫方式 | 30段可編程控溫，PID參數自整定， 操作界面為10"液晶觸摸屏控制 |
| 加熱長度 | 200mm+200mm |
| 恒溫長度 | 250mm |
| 加熱元件 | 電阻絲 |
(2)Plasma系統：
本系統借助于輝光放電產生等離子體，輝光放電等離子體中，電子密度高，通過反應氣態放電，有效利用了非平衡等離子體的反應特征，從根本上改變了反應體系的能量供給方式。
(3)進料系統：
送料系統速度連續可調，停止送料且爐體傾斜額定時，物料不會從送料系統外漏，送料系統方便拆卸，拆卸后可手動加料，設備可正常運行。
(4)出料系統：
出料系統在爐體傾斜出料時可自動出料。
(5)氣體控制系統：
該控氣系統是可以控制兩種氣體按照不同流量進行混合配比的，也可以獨立控制，質量流量計安裝于密封的可移動的機柜內，由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。
| 連接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 |
| 標準量程（N2) | *路:200 SCCM 第二路: 500 SCCM |
| 準確度 | ±1、5%F.S |
| 線性 | ±1%F.S |
| 重復精度 | ±0.2%F.S |
| 響應時間 | 氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
| 工作壓差范圍 | 0.1～0.5 MPa |
| 額定壓力 | 3MPa |
| 接口 | Φ6,1/4'' |
| 顯示 | 4位數字顯示 |
| 工作環境溫度 | 5~45高純氣體 |
| 壓力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
| 截止閥 | Φ6 |
| 內外雙拋不銹鋼管 | Φ6 |
(6)低真空系統：
該系統配備真空機械泵，可以抽真空，可以讓設備在真空環境下進行反應。
| 空氣相對濕度 | ≤85% |
| 工作環境 | 5℃～40℃ |
| 工作電電壓 | 220V±10% 50~60HZ |
| 功率 | 1KW |
| 抽氣速率 | 10m3/h |
| 極限真空 | 5X10-1Pa |
| 工作壓力范圍 | 1、01325X105～1、33X10-2Pa |
| 耐壓值 | 0.03MPa |
| 容油量 | 1、1L |
| 進氣口口徑 | KF25 |
| 排氣口口徑 | KF25 |
| 噪音 | 50dB |
| 外形尺寸 | 600×600×600mm |
| 連接方式 | 采用波紋管，手動擋板閥與波紋管相連 |
(7)氣料分離系統：
該系統可以讓設備在充氣體保護或者抽真空時，實現氣體與物料的分離。
(8)過濾系統：
該系統可防止物料進入真空泵，保證真空泵的正常運行。
(9)爐管轉動系統：
爐管轉動系統可以讓爐管360°勻速轉動，轉速在0-60r/min連續可調，且能在60r/min轉速下長時間運行。
3、技術指標：
(1)該設備爐管可360度旋轉，管內壁有石英擋片幫助粉料翻轉有助于燒結得更均勻;
(2)整個電爐和送料、收料系統能夠一起傾斜，方便出放料，傾斜角度在0~35°之間可調;
(3)送料系統送料速度連續可調，停止送料且爐體額定傾斜時，物料不從送料系統外漏。送料系統方便拆卸，拆卸之后可以手動加料，設備可正常運行。
(4)爐管回轉穩定，不會上下左右跳動;轉速在0~60r/min連續可調，能在60r/min轉速下連續長期運轉(>24h)。
(5)電爐轉速，加料速度，傾斜角度，真空度，氣體流量，溫度，運行時間，等離子體功率等參數都用數字顯示，并在運行過程記錄設備整個運行軌跡及上述參數(在工控及獨立電腦上均能實現);
(6)設備運行可分為手動模式與自動模式;自動模式下可實現高度自動化運行，所有參數程序設定好后自動運行：可實現按照設定程序連續工作，可設置多工作段不同參數，并可進行某工作段循環工作及某程序循環工作;
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