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沈陽科晶自動化設備有限公司
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更新時間:2022-09-10 13:07:14瀏覽次數:335次
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SP-MSM-4CZ四電弧提拉法單晶生長爐
產品簡介:SP-MSM-4CZ四電弧提拉法單晶生長爐是一款采用4電弧的提拉法單晶生長爐(采用Ar氣電弧對樣品熔融,提拉裝置提拉),其溫度可達3000℃。腔體為304不銹鋼腔體(帶有水冷夾層),真空度可達10-5Torr.此款單晶爐特別適合生長高熔點的單晶,如Ti單晶,YSZ,SiC和CeRh2Si等等。
產品名稱
技術參數
腔體
1、采用304不銹鋼腔體,帶有水冷夾層,可通入冷卻水
2、腔體上安裝有石英窗口,以便觀察樣品
3、腔體真空度:10-5Torr(采用分子泵)
4、腔體尺寸:Φ257*360mm
真空計
1、腔體上安裝有數顯防腐真空計和機械壓力表
電弧槍
1、共有4個電弧槍,可讓樣品得到均勻的溫場(電弧槍都帶有冷卻水)
2、鎢電極直徑為Φ4mm
3、電弧腔體對樣品的角度和距離可手動調節
4、起弧電源: 18 V / 185 A 電壓380V
5、熔煉溫度可達3000℃
樣品臺
1、采用水冷銅坩堝
2、可投如樣品量為60g(按鐵計算)
提拉機構
1、控制器控制提拉機構的提拉速度,轉速和轉速
2、提拉速度:0.2-10mm/h
3、提拉行程:0-70mm
4、轉速:0-40RPM
控制單元
1、可顯示和設置單晶生長的參數(起弧電流,提拉桿轉速,提拉行程和轉速)
真空泵
1、設備中配有一分子泵系統(機械泵+渦旋分子泵)
2、抽氣速率:100L/S
3、可使設備腔體的真空度達到10-5Torr(40分鐘內)
循環水冷機
1、功率:800W
2、水流速度:58L/min
3、制冷能力:5004W(17500Btu/hour)
4、溫度控制:5~30°C
產品規格
設備尺寸:800mm(L)*800mm(W)*1500mm(H)
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