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簡要描述： S500高精度氣體質量流量控制器,高精度氣體質量流量計1.高精度 2.快速響應 3.自動調零 4.任意角度安裝
S500高精度氣體質量流量控制器,高精度氣體質量流量計
1.高精度
2.快速響應
3.自動調零
4.任意角度安裝
S500高精度氣體質量流量控制器,高精度氣體質量流量計技術參數：
1.產品規格
| 項目 | S500 (規格Type AR111) |
| 外部密封 | 氟橡膠 |
| 接觸氣體材料 | SUS316L,氟橡膠,磁性不銹鋼 |
| 調節閥類型 | 非通電時常閉 |
| 滿量程流量(N2換算流量) | 10,20,30,50,100,200,300,500 mL/min 1,2,3,5,10,20,30 L/min |
| 流量控制范圍 | 2%～99%F.S. (0.1～5V DC) |
| 流量測量范圍 | 0～99%F.S. (0～5V DC) |
| 響應時間（輸出電壓） | 1秒 (保證 1.5秒以內T98) |
| 工作環境溫度 | 5～45℃ (精度保證 15～35℃) |
| 流量精度 | ±1.0%F.S |
| 線性 | ±0.5%F.S. |
| 重復性 | ±0.2%F.S. |
| 工作壓差 | 10mL/min～5L/min :50～300kPa(d) 10L/min～30L/min :100～300kPa(d) |
| zui大工作（使用）壓力 | 300kPa(G) |
| 耐壓 | 3MPa(G) |
| 泄漏率 | 1×10-8Pa?m3/s(He)以下 |
| 流量設定信號 | 0.1～5VDC(2%～99%F.S.) |
| 流量輸出信號 | 0～5VDC(0%～99%F.S.) |
| 供電電源 | +15V±5% 100mA以下 －15V±5% 150mA以下 |
| 管路接頭 | 1/4inch HM-SWL、1/4inch SWL、φ6mm HM-SWL、1/4inch VCR |
| 安裝角度 | 任意 |
| 電氣接頭 | D-Sub 15pin |
| 輸入輸出阻抗 | 輸入：1MΩ以上 輸出：3mA以下 |
| 附加功能 | Auto-zero、Auto-close |
**滿量程流量50mL/min一下的響應時間為2S以內
2. ,高精度氣體質量流量計外形尺寸
3.電氣接口
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