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深圳市華智騰光電科技有限公司
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H30-UVL是一款FUV遠紫外單色儀，其一般采用出口狹縫分光模式或者CCD探測器平場攝譜模式下工作
H30-UVL是一款FUV遠紫外單色儀，其一般采用出口狹縫分光模式或者CCD探測器平場攝譜模式下工作。其采用非常緊湊和的光學設計，基于的單一全息像差校正環形光柵，可以獲得了非常好的圖像質量和*的光通量。
H30-UVL 是基于EUV到UV波段范圍特別設計的一款工作在真空環境之中單色儀，其可以匹配狹縫-狹縫或者狹縫-CCD進行工作。
H30-UVL是采用全息變間距VLS技術的單個環形像差校正光柵的單色儀。 其在光學設計方面采用優化它的光軸以及大的出口平面上的所有方向(25x10毫米校正平面)，使其實現理想的一英寸陣列，從而很好地優化了雜散光。同時，采用單一光柵布局具可以將儀器中的光學數量減少到最小，增加其在EUV和FUV區域的光通量。
技術參數
| 光學結構 | Toroidal Grating Type IV VLS single optic |
| 焦距長度 | 300 mm |
| 數字孔徑 | f/6 |
| 光柵密度 | 1200 gr/mm : 50-300 nm |
| 光學鍍膜 | MgF2 optimized at 121 nm standard or Pt option |
| 光學入射角 | 70° |
| 線色散 | 2.3 nm/mm at 50 nm |
| 驅動方式 | Fast worm drive |
| 最小步距 | better than 0.2 nm |
| 真空度 | 5 10-6 mbar (HV version) 5 10-8 mbar (UHV version) |
| 泵法蘭接口 | DN63 CF |
| 入口狹縫 | Micrometric slits (10 µm to 2 mm) |
| 出口狹縫 | Micrometric slits (10 µm to 2 mm) or Adjustable CCD port |
| 入口法蘭 | DN40 KF (DN40 CF) |
| 出口法蘭 | DN40 KF for slit version (DN40 CF) DN100CF for CCD version |
| 通訊方式 | Built-in USB2, no additional controller |
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