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上海日目儀器有限公司
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83xxK系列電機基于62xxH系列的速度及可靠性，同時具有更高的分辨率和熱穩定性，適用于高要求及高精度的應用
83xxK系列電機基于62xxH系列的速度及可靠性，同時具有更高的分辨率和熱穩定性，適用于高要求及高精度的應用。各機型均采用的動磁式激勵技術與進一步改進了的Cambridge Technology的增強型位置探測器。83xxK系列產品漂移小、噪音低，適用于微加工類的高精度需求及穩定性要求高的大幅面加工應用。
可達到別的掃描精度、速度及穩定性：
· 業內速度的電機，更好的分辨率及穩定性
· 的精度保證高質量的加工效果
· 強大可靠的設計保證長時間穩定性及使用壽命
· 緊湊的封裝方式易于在小空間內集成
· 選擇范圍廣泛的鏡片（3-50mm）和鍍膜類型
產品型號 | 8300K | 8310K | 8315K | 8320K | 8330K | 8331K | 8340K | 8350K | 8360K |
入射光直徑 (mm) | 3 - 7 | 3 - 7 | 3 - 7 | 5 - 10 | 8 - 15 | 8 - 15 | 12 - 25 | 25 - 75 | 30-100 |
激光波長 | 355/532nm /1030 - 1080 nm / 9.4 - 10.6 μm ；寬帶鍍膜： 350 nm – 12 μm | ||||||||
掃描角度（°） | 40° | 40° | 40° | 40° | 40° | 40° | 40° | 40° | 40° |
轉動慣量 (gm·cm2, ±10%) | 0.013 | 0.018 | 0.028 | 0.125 | 0.97 | 0.82 | 2.4 | 15.6 | 47.5 |
扭矩常數(dyne·cm /amp, ±10%) | 12000 | 27900 | 37800 | 61700 | 131000 | 111000 | 200000 | 708000 | 850000 |
轉子溫度 (°C) | 110° | 110° | 110° | 110° | 110° | 110° | 110° | 110° | 110° |
熱阻 (轉子至機箱,°C/W ，) | 3.8 | 2.0 | 1.0 | 1.0 | 0.8 | 1.0 | 0.62 | 0.35 | 0.2 |
線圈電阻 （Ω，±10%） | 2.14 | 3.7 | 2.5 | 2.79 | 1.07 | 1.27 | 1.03 | 1.69 | 0.60 |
線圈電感 (μH, ±10%) | 52 | 109 | 94 | 180 | 173 | 176 | 350 | 1030 | 530 |
反EMF電壓 (μV/°/sec, ±10%) | 20.9 | 48.7 | 66 | 108 | 229 | 195 | 346 | 1220 | 1480 |
RMS電流(A、外殼溫度50°） | 2.3 | 2.4 | 4.1 | 3.9 | 7.1 | 5.8 | 8.2 | 7.1 | 12 |
峰值電流 （A、） | 6 | 8 | 20 | 20 | 25 | 25 | 25 | 20 | 40 |
小角度階躍響應 | 3 mmY鏡片 | 3 mmY鏡片 | 3mmY鏡片 | 5mmY鏡片 | 10mmY鏡片 | 10mmY鏡片 | 15mmY鏡片 | 50mmY鏡片 | 50mmY鏡片 |
130μs | 100μs | 130μs | 200μs | 250μs | 250μs | 350μs | 3.0ms | 2.1ms | |
重量（克、常規） | 13.3 | 18 | 25.8 | 42.5 | 267 | 142 | 356 | 590 | 1200 |
位置探測器技術參數：
線性度 | 超過 20°時最小為 99.9%，超過 40°通常為 99.5% |
比例漂移 | 15 ppm/°C（） |
零點漂移 | 5 μrad/°C（） |
重復精度（短期） | 8 μrad |
輸出信號（常規模式） | 最小 283 μA、AGC 電流為 60 mA |
輸出信號（差分模式） | 22.6 μA/° (±2.5%)、常規模式的電流為 283 μA |
輸出信號（常規模式與差分模式之比） | 12.5 (±2.5%) |
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