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河南諾巴迪材料科技有限公司
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離子濺射儀2
| | 設備簡介： NBD-LJ13離子濺射儀為掃描電鏡制作樣品而設計，結構簡單、操作使用直觀方便等特點。不需要很高的真空度就可以對掃描電鏡樣品進行離子濺射，可作為掃描電鏡樣品鍍膜的基本設備。 | |||
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配置詳情
產品型號：NBD-LJ13
| | 主要特點 1.采用4C真空泵，各方面降噪，提升實驗感受； 2.標配樣品室真空表和濺射電流表，實時顯示和監控儀器狀態； 3.邊緣橡膠密封圈，長期使用不會出現影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊"現象。 4.配置濺射電流控制器和微型真空氣閥。結合自動控制電路，輕松控制真空室壓強、電離電流，并可任意選擇所需電離氣體，以獲得很好的鍍膜效果； 5.標配Φ58mm x 0.12mm 大尺寸純金靶，濺射范圍更大；
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| | 控制面板： 真空表：真空度的計量單位mmHg或Pa相對應的刻在表盤上，可方便的讀出工作室內的真空度。 電流表：顯示濺射電流值單位(mA)。 微調閥(充氣閥)：用于向工作室內進行充氣， 試驗按鈕：配合針閥設置，以便獲得滿意的濺射電流值（小于10mA）。 濺射按鈕：當“實驗"按鈕電流小于10mA時，可以按“濺射"按鈕，對樣品進行離子濺射。 時間設定開關：控制離子濺射時間，定時開關10～110S. 電源開關：控制儀器機箱電源及機械泵的通斷。 | |
| | 高純石英真空腔體Φ130（內118）*130mm 樣品臺尺寸：Φ42mm 樣品臺可調高度：75mm | |
| 電氣規格 | AC220V 120W | |
| 腔體尺寸 | Φ130（內118）*130mm | |
| 樣品臺尺寸 | Φ42mm | |
| 樣品臺可調高度 | 樣品臺可調高度：75mm | |
| 樣品溫度 | ＜35~50℃ | |
| 適用靶材 | 貴金屬AU、Pt、Pd合金AU-Pt、AU-Pb 常規金屬Cu、W、Ag 、Cr 等 | |
| 濺射速度 | 一般來說，用于掃描樣品時金屬的厚度為100-300?,采用經驗法測定厚度，可由下面的公式得到 d = KIVT 其中： d：是鍍膜厚度(單位?) K：是常數，取決于濺射金屬和所充氣體(采用金靶和氬氣時K為0.17，金靶和空氣K為0.07)，此時靶與樣品之間的距離 I： 是等離子流(單位mA) V：是所施電壓(單位kv) T“"是時間(單位s)。 例如采用金靶和氬氣，l為8mA,T為100秒，V為1KV 則, d = KIVT = 0. 17×8×l×100 = 136? 即每秒1.36? 濺射速度依賴于濺射系統本身的清潔程度，因此保護工作室的清潔十分重要。 其它金屬靶的濺射速度，例如鉑靶大約是金靶一半的速度，金一鉑靶則具有與金靶非常接近的濺射速度。 | |
| 設備使用注意事項 | 1.靶材的更換 先拔下濺射蓋板上高壓和地線插頭，拿下濺射蓋板，松開三只頂絲，拿下保護板，然后擰下壓環就可以更換新靶。 2.真空工作室清洗 腔體工作室用無水乙醇、丙酮清洗，以保證系統能正常工作。 3、針閥使用 針閥關閉后再反向擰兩圈，以防止針閥長時間不用出現閥針回彈不靈活的現象。如遇到打開針閥時不向工作室放氣，請將針閥鈕擰到底后再重新打開即可。 | |
| 標配 | 1.NBD-4C真空泵； 2 金靶1只：Φ58*0.12 3.說明書一份.（可選配分子泵） | |
| 服務支持 | 一年保修，提供終身服務； | |
| 凈重 | 25KG | |
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