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佛山市精測計量儀器設備有限公司
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激光干涉儀SJ6000
| 商品名稱 | 激光干涉儀 |
| 型號 | SJ6000 |
| 穩頻方式 | 雙頻激光熱穩頻 |
| 穩頻精度 | 0.05ppm |
| 供 應 商 | 佛山市精測計量儀器設備有限公司 |
激光干涉儀以光波為載體，其光波波長可以直接對米進行定義，且可以溯源至國家標準，是迄今*的高精度、高靈敏度的測量儀器，在制造領域應用廣泛。
SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體，產品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時;采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗力強、長期穩定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調理及細分技術，可實現4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率;采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償;采用高性能計算機控制系統及軟件技術，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。
激光器發射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個探測器監控兩道光束之間的干涉(見圖)。若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。
若光程差有變化時，探測器會在每一次光程變化時，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。
SJ6000激光干涉儀以干涉技術為核心，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗力強、長期穩定性好的激光頻率輸出;采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩定可靠。
◆功能廣
● 可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;
● 可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
● 可實現龍門機床雙軸同步測量;
● 可實現對機床回轉軸的測量與校準;
● 可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據;
● 具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等;
● 支持手動或自動進行環境補償。
◆軟件強
● 友好的人機界面;
● 豐富的應用功能模塊;
● 向導式的操作流程;
● 簡潔化的記錄管理;
● 支持中文、英文和俄文界面;
● 支持企業專屬模板定制。
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