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天津市科器高新技術公司
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GSL-1100X-SPC-16M是一款緊湊型的磁控等離子濺射儀，采用雙旋片機械泵進行抽真空
GSL-1100X-SPC-16M 是一款緊湊型的磁控等離子濺射儀，采用雙旋片機械泵進行抽真空。 一個磁控管與Peltier 冷卻裝置安裝在機器的頂部,，這將提供強有力的濺射能源，產生更好和更快的涂層，特別適用于金屬靶材,比如鋁，鋅和鎂. 儀器中包含一個金靶和真空系統。
技術參數
| 工作電壓 | 110V or 220V 50/60 Hz |
| 輸出功率 | < 2000W (包含真空泵) |
| 輸出電壓 |
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| 樣品室 | 石英罩： 160 mm Dia. x 120mm Height |
| 樣品載物臺 |
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| 可通入氣體 | 通過針閥通入氬氣，能實現更好的等離子涂層 |
| 靶材
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| 外形尺寸 | L360mm x W300mm x H380mm |
| 重量 | 50 kg |
| 質保期和質量認證 | 一年質保期，終身維護 |
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