技術指標 1、電源: 220V/50 Hz 2、尺寸:424 x 271 x 255 mm 3、濺射電壓:2400V 4、功率:500W 5、靶材尺寸:57×0.12 mm 6、真空泵:直連式兩級旋片式真空泵(1L/s) 7、真空室(128×130mm) 8、極限真空:≤1Pa(電阻式真空規) 9、工作電流:2-30 mA任意可調
型號:Aurora-S1
技術指標 1、電源: 220V/50 Hz 2、尺寸:424 x 271 x 255 mm 3、濺射電壓:600V 4、功率:450W 5、靶材尺寸:57×0.12 mm 6、真空泵:直連式兩級旋片式真空泵(1L/s) 7、真空室(128×130mm) 8、極限真空:≤1Pa 9、工作電流:5-45 mA任意可調