儀器參數:
一、粗糙度測量
X 軸 (驅動部)
1.測量范圍: 100mm
2.分辨率: 0.5μm
3.長度基準: 高精度位移傳感器
4.驅動速度: 0 – 10mm/s
5.測量速度: 0.5 - 2mm/s
Z 軸 (立柱)
1.類型: 電動操作
2.垂直移動: 350mm
檢測器
1.范圍/分辨率: 1000μm / 0.01μm
2.測針針尖: 2um
3.示值誤差: ±5%-—±7%
4.測量重復性: ± 3% -—-±5%
5.類型: 差動電感式
6.驅動裝置的控制:手動或 PC 操作
評價參數
1.Ra, Rq, Rz, Ry, Rz(JIS), Ry(DIN), Rc, Rp, Rpmax, Rpi, Rv, Rvmax, Rvi,
Rt, Rti, R3z, R3zi, R3y, S, Pc (Ppi), Sm, HSC, mr, dc, plateau ratio,
mrd, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, Da, Dq, la, lq, Sk, Ku, Lo, Lr, A1, A2
取樣長度
1.0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm