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上海唯科電氣有限公司
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羅茨泵又名機械增壓泵，它可與螺桿泵、油旋片泵、滑閥泵、干泵等組合使用，在粗抽泵抽速下降的壓力范圍（1300~0.13Pa）大大提高抽氣速率并提高整體的真空度。泵腔內無潤滑油，實現潔凈真空。
| **性能 散熱快，體積小，重量輕 所有鑄件采用鋁合金材料?？蛇m用大量水蒸氣或有機溶劑的排氣。 潔凈真空 機械密封、無油骨架密封、潤滑室另外排氣口的設計有效防止油流入轉子室。 高**性、高** 機械密封、無油骨架密封、同步此輪、O形圈等均采用**件，所有鑄件采用**加工**加工。 高負荷運轉 選配比標準容量大一級的電機后可適用高負荷的排氣，如CO2激光發生器。 | 應用領域 電子、半導體及太陽能行業： 蒸發鍍、離子鍍、濺射鍍膜，液晶注入，單晶爐、多晶爐、藍寶石爐，真空烘箱，手套箱，層壓機，真空封裝，各種集中排氣系統等 冶金行業： 真空退火、真空淬火爐，真空燒結爐、真空熱處理爐,真空釬焊爐，真空成型，真空鑄造，真空熔解、真空脫氣 照明行業： 圓排車、長排車及各種排氣臺等。 制冷行業： 空調、冰箱、飲水機、壓縮機等的自動抽空線或集中排氣系統，氦檢及氦回收系統。 醫療行業： 冷凍干燥設備、真空攪拌、大型**排氣站等。 其它： 真空輸送、真空脫氣，濾油機，各種分析儀器、CO2激光發生器 |
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