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成都超邁光電科技有限公司
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有機金屬熱沉積系統是一種熱蒸發的方式, 用于將有機或金屬材料沉積到基板表面上. 有機材料熱沉積系統使用高精準熱蒸發源作為加熱源, 并使用金屬, 石英, 陶瓷或 PBN 坩堝來容納有機材料以及 PID 控制器來控制其沉積速率，可在 OLED 上堆疊多層薄膜, 廣泛應用于有機發光二極體, 有機光伏打電池和材料科學研究.
腔體尺寸可定制，配置分子泵超高真空系統；
有機蒸發源可布置2-20個蒸發源；
優異的薄膜均勻度小于 ±3%，可選配1個或多個膜厚控制儀，同時具備共蒸發工藝；
用于有機材料的蒸發源（可用金屬、陶瓷、石墨或 PBN 坩堝），采用PID閉環控制；
蒸發源溫度控制可達到精度 ±0.1，同時*的熱場設計，能夠規避蒸發大顆粒產生；
具有順序操作或共沉積的多個蒸發源，公司具有多個蒸發源工作設計制造經驗；
每個蒸發源和基材均有安裝遮板，可根據需要調整擋板位置和角度；
公司為研發了大尺寸有機蒸發系統，用于新能源領域。
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