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上海德竹芯源科技有限公司
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半自動勻膠機 SM-200 可處理沒有或表面結構非常低的襯底。SM系列，擁有高水平的均勻性和重復性。所有商業光阻劑都可被均勻涂布。針對多種多樣的應用設計的專用卡盤，有助于提高在基材選擇方面的高度靈活性和可使用性。
產品功能
● 閉合工藝室由 PETP 材質做成（碗和防濺環）
● RCCT 系統（旋轉閉合腔體技術 Round-Closed-Chamber-Technology）
● 高動態、直接驅動交流伺服電機
● 旋轉速度 6000 rpm +/-1 rpm（可選 10000）
● 可編程電驅動分配手臂，可靜態或動態滴膠
● 襯底通過真空固定和安全互鎖保護
● 一個滴膠臂，可放置 4 路液體管路
● 液體由玻璃瓶和精密計量泵來供應，包括低液體傳感報警
● PP材質的廢液桶，帶有高液位傳感器
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