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冉昆真空科技（上海）股份有限公司
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RMDJL系列單晶爐機組
單晶爐應用概述
單晶爐是主要用于生產無錯位單晶的設備。 設備主要分成兩個部分：
1.在惰性氣體填充環境內，多晶硅等多晶材料將通過石墨加熱器進行融化。
2.設備內部安裝提拉頭，將對融化的多晶材料進行直拉并最終生產出產品。
單晶爐生產過程需輔助配套真空機組，針對單晶爐生產工藝需求，真空機組需求進行專門配置和定制化設計以完善符合單晶爐應用工藝。
ReM 定制化單晶爐真空機組
冉昆真空科技提供的單晶爐設備配套真空機組以高效羅茨螺桿真空機組作為主體，機組后端配置消音器可有效降低設備運轉過程中的噪音。 機組前端配置過濾器，該裝置可以選配。 過濾器的添加將有效降低單晶爐中潛在的粉塵顆粒進泵的幾率。 客戶可根據工況實際情況進行選配。
主體設備常規配置：
| 序號 | 泵種 | 設備型號 | 電機功率，KW | 電機形式 |
| 1 | 羅茨真空泵 | ZJ-150D | 4 | 水冷封閉電機 |
| 2 | 干式螺桿真空泵 | RMD-200D | 7.5 | 水冷封閉電機 |
如上機組型號： RMDJL150-T
結合單晶爐運行特點，機組配置針對電氣控制、保護裝置。 機組可有效對運行溫度水平進行監控。。當出現高溫情況，將分別進行報警和停機 另，機組配置定制化電控箱，可有效進行機組控制等操作。 同時機組真空度、氮氣氣源皆可通過調節閥、壓力表分別進行控制和監控。另，選配方面針對機組前端過濾器，機組可通過進行壓差檢測，并實時對濾芯堵塞狀態進行提示和報警。
RMDJL150-T 型羅茨螺桿真空機組性能參數列表：
| 機 組 型 號 | 單位 | RMDJL150-T | |
|
抽 氣 速 率 | L/S | 175/210 | |
| m3/h | 630/756 | ||
|
極 限 真 空 | Pa | ≤0.2/0.1 | |
| Torr | ≤1.5X10-3/≤7.5X10-4 | ||
|
水冷密封電機 | 頻率 | Hz | 50/60 |
| 電壓 | V | 380 | |
| 功率 | kW | 3+4.5 | |
|
轉速 | 羅茨真空泵 ZJ-150D | rpm |
2900/3480 |
| 干式螺桿真空泵 RMD-200D | rpm | 2900 | |
|
氮氣 | 壓力 | MPa | 0.05-0.1 |
| 流量 | l/min | 6-20 | |
|
冷卻水 | 壓力 | MPa | 0.2-0.4 |
| 壓力差 | MPa | 0.1 | |
| 溫度 | ℃ | 10-30 | |
| 流量 | l/min | 3-5 | |
| 進氣口徑 | mm | DN100 | |
| 排氣口徑 | mm | DN40 | |
| 重 量 | Kq | 600 | |
| 噪 音 | dB（A） | 72 | |
| 外形尺寸（長×寬×高） | mm | 1000×660 ×1050 | |
RMDJL150-T 型螺桿真空機組供貨范圍
| 序號 | 設備名稱 | 數量 | 單位 | 備注 |
| 機械部分 |
| |||
| 1 | ZJ-150D羅茨真空泵 | 1 | 臺 |
|
| 2 | RMD-200D 螺桿真空泵 | 1 | 臺 |
|
| 3 | 減震墊 | 4 | 個 |
|
| 4 | 機組底座 | 1 | 套 | 配置萬向輪 |
| 5 | 消音器 | 1 | 個 |
|
| 6 | 副水箱 | 1 | 個 |
|
| 7 | 過濾器 | 1 | 臺 | 可選配置 |
| 電氣閥門部分 | ||||
| 8 | 水冷封閉電機 | 2 | 臺 |
|
| 9 | 水溫檢測器 | 1 | 個 |
|
| 10 | 氮氣壓力表 | 1 | 個 |
|
| 11 | 壓力調節閥 | 1 | 個 |
|
| 12 | 電磁壓差閥 | 1 | 個 | 可選配置 |
| 13 | 電控箱 | 1 | 個 | 可選配置 |
| 管路部分 | ||||
| 14 | 電源、氣源、水路接口 | 1 | 套 |
|
| 15 | 波紋管（DN40） | 1 | 個 |
|
| 16 | 波紋管（DN100） | 1 | 個 | 可選配置 |
| 17 | 過濾器電磁壓差閥 | 1 | 個 | 可選配置 |
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