詳細參數：
電子光學系統
電子槍：K型預對中鎢燈絲陰極（原裝日本進口，壽命可達250小時）分辨率：二次電子像分辨率優于3.0nm@30kV
加速電壓范圍：0－30kV，步進式連續可調（0～10kV步進量為100V，10kV～30kV步進量為1kV）
放大倍數范圍：16X－600,000X（可定制）
透鏡系統
三級電磁透鏡系統：雙級可變聚焦電磁聚光鏡，高性能錐形電磁物鏡
三個物鏡光闌，在真空外可調，X/Y方向微調；無需拆卸鏡筒即可更換物鏡光闌
真空系統
真空系統：1臺磁懸浮渦輪分子泵，1臺機械泵組成的機組
全自動真空控制，具有真空互鎖功能
樣品室及樣品臺（可定制）：
五軸樣品臺
樣品臺行程：
X:0-80mm；Y:0-60mm；Z：0-50mm；R：360°連續；T：-5°-﹢95°
載入樣品：φ175mm ，高度：60mm；觀測范圍：60mm
樣品臺具有接觸報警與自停功能
探測器：
二次電子探測器
背散射電子探測器
樣品室紅外CCD相機
成像模式：同時得到二次電子像，背散射電子像，兩種圖像混合像
可選配能譜儀
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