技術參數：

分辨率：1.5nm@15kV (二次電子）

              3nm@20kV （背散射電子）

放大倍數：15x-500,000x

加速電壓：0-30kV連續可調

電子槍：Schottky場發射電子槍

高精度五軸樣品臺：

移動：X≤80mm，Y≤60mm，Z≤50mm

旋轉：360° 連續

傾斜：-5°～ 90°

載入樣品：直徑175mm，高度70mm

艙內尺寸：直徑230mm x 高227mm

具有防碰撞報警及停止功能

探測器：

二次電子探測器

半導體高性能四分割背散射探測器

CCD紅外高清樣品艙監視器

真空系統：

兩個離子泵、一個分子泵、一個機械泵

集成式減震平臺

自動功能：

聚焦、亮度/對比度、消像散、動態聚焦、電子束對中等

高性能電子光學透鏡系統

物鏡光闌：

三個物鏡光闌可在真空外調節，無需拆卸鏡筒即可更換物鏡光闌

測樣鑒賞：

                              癌細胞                                                 濾網                                            20萬倍碳噴金

                   低壓1kV10萬倍碳噴金               金屬纖維                     高分子材料

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