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鄭州諾泰科技有限公司
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石墨烯生長爐由管式爐+真空系統+供氣系統+水冷系統組成 ，溫度可以達到1200度,可以是單溫區、雙溫區、三溫區等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流
產品概述：
石墨烯生長爐由管式爐+真空系統+供氣系統+水冷系統組成 ，溫度可以達到1200度,可以是單溫區、雙溫區、三溫區等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件，采用雙層殼體結構和宇電控溫儀表，能進行30段程序控溫，移相觸發、可控硅控制，爐膛采用日本進口氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、節能等優點。 軟件控制系統：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出。
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| 質子流量計×1 | 真空系統×1 | 射頻電源×1 |
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| 氣煉石英爐管×1 | 真空法蘭×1 | 防燙罩×2 |
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| 高溫手套×1 | 坩堝鉗×1 | 熱電偶×1 |
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| 剛玉坩堝×2 | 爐塞×2 | 中文說明書×1 |
| 產品名稱 | 1200℃石墨烯生長爐 |
| 產品型號 | PT-1200T-S6012LK1-4Z5S |
| 恒溫區長度 | 150mm (+/-1 ℃) |
| 加熱區長度 | 440mm(更多規格可按用戶需求定制) |
| 正常工作溫度 | 1100℃(此溫度為長期加熱溫度 可選) |
| 溫度 | 1200℃（可選1700℃） |
| 爐管尺寸 | Φ60×1440mm(更多規格可根據用戶需求定制) |
| 輸出功率 | 5 ～500W ± 1% . |
| 射頻頻率 | 180mm(+/-1°C) |
| 恒溫區長度 | 13.56 MHz ±0.005% . |
| 反射功率 | 約200W |
| 阻抗匹配 | 自動 |
| 真空度 | 10-3torr |
| 波紋管 | KFD25 快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連. |
| 四通道控制 | 精度0.02% 、數字顯示、自動控制、 一個混氣罐、底部裝有泄廢液口 |
| MFC 1范圍 | 0~100 sccm |
| MFC 2和3 | 0~500 sccm |
| 進氣接口 | 1/4NPS |
| 出氣接口 | 1/4NPS |
| 水冷法蘭要求 | 水流量 >= 10L/M ，配有專業水冷機組 |
| 售后服務 | 12個月質保、終身保修 |
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