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東莞燕園半導體科技有限公司
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簡單介紹 晶體生長爐、晶體生長爐
在傳統的直拉法生產單晶材料時，生產設備存在自動化程度低，投料量少、設備功能單元布局不合理等一系列問題，從而導致單晶生產中人工勞動強度大、單位產能與品質低，成本高等一系列問題。隨著社會的進步，市場對新一代單晶生產設備轉向自動化程度高、投料量大、單位時間產能高、能耗低等方面。針對這些需求，爐壓自動控制技術、CCD非接觸測量技術、爐體恒溫控制技術的發展的進一步要求也是自動化；大爐體，高副室，旋板閥，水冷屏等的技術改進，是提高投料量與產能的必要方式。當投料量與產能達到一定程度時，副室的高度會進一步增加，因此坩堝托盤與提拉頭的動平衡問題會日漸突出，如何保證兩大低頻非規則運動部件的動平衡將會是一大挑戰。 NVT-HG型單晶爐可實現生長過程的全自動控制，爐壓全自動控制，采用CCD測量技術，此外還以其大裝爐量、高生產效率、低能量消耗，為客戶帶來額外利益。 應用領域 ? 直拉法晶體提純 ? 直拉法多晶生長 ? 直拉法單晶生長 ? 目前主要用于單晶硅棒的生產制造 適用工藝 爐壓自動控制、CCD非接觸測量、自動旋板閥、下排氣流線型管路等 產品優勢
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