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北京七星華創流量計有限公司
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CS200H氣體質量流量控制是七星流量計生產的數字型高溫產品，其電氣和機械部分采用分體式的設計，通過高溫線纜連接，可以實現在高溫環境下工作，能夠滿足復雜多變的半導體測量需求。
優勢
• 控制器工作溫度：90~120℃。
• 高控制精度：產品精度可達±1.0% S.P.(≥35%F.S.)。
• 快速響應，響應時間≤ 0.8sec。
• 采用恒功率傳感器原理，在溫度變化時進行相應的補償，從根本上抑制了流量計的零漂現象，保證了傳感器線性。
• 產品采用專門的金屬表面處理技術，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS200產品金屬表面粗糙度更可達10RA以下，嚴格按照SEMI標準生產制造。
• 支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數字，模擬輸入輸出。
• 產品尺寸符合國際通用的SEMI標準，RS485，DeviceNet通訊方式。
技術參數
| CS200 | ||
| 型號 | CS200-H | |
| 閥類型 | 常閉 | 無 |
| 流量規格(N2) | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | |
| 準確度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) | |
| 線性 | ±0.5% F.S. | |
| 重復精度 | ±0.2% F.S. | |
| 響應時間 | ≤ 1sec | |
| 工作壓差范圍 | 0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM | ＜0.02 MPa |
| 工作壓力 | 0.45MPa | |
| 溫度系數 | 零點: ≤±0.1% F.S./℃；調節時: ≤±0.1% F.S./℃ | |
| 耐壓強度 | 3MPa | |
| 漏率 | 1×10-11 Pa·m3 / sec He | |
| 密封材料 | 金屬密封 | |
| 工作環境溫度 | 質量流量控制器/流量計:（90～120）℃；控制盒:（0～50）℃ | |
| 輸入信號 | 數字: RS485 或 DeviceNet | 無 |
| 輸出信號 | 數字:RS485或 DeviceNet | |
| 零漂 | 在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年 | |
| 電源 | ±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極) | |
| 表面化學成分 | Cr/Fe比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥20 （埃） | |
| 表面粗糙度 | 10 Ra | |
| 標準接頭形式 | 雙卡套φ6；雙卡套1/4；VCR1/4陽接頭；1.5´´C型密封接頭 | |
| 電源接頭形式 | D型9針陽接頭；D型15針陽接頭；DeviceNet接頭 | |
| 連接高溫電纜 | 2m | |
| 重量 | 1.2Kg | 1Kg |
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