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上海衡鵬企業發展有限公司
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產品型號
品 牌
廠商性質其他
所 在 地上海
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更新時間:2024-06-19 09:15:06瀏覽次數:150次
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3軸圓柱坐標潔凈晶圓搬運機械手臂特點:超潔凈無塵間用300mm晶圓對應MCR3000C系列適用于半導體生產設備內部
3軸圓柱坐標潔凈晶圓搬運機械手臂特點:
超潔凈無塵間用300mm晶圓對應MCR3000C系列
適用于半導體生產設備內部,檢測設備等的晶圓搬運
全軸采用AC伺服電機滿足高速搬送的需求
比MHR系列具有更好的性價比優勢
機械手臂標準臂長:160mm, 200mm
適應設備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式
配備動作監視器
控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
全軸采用值編碼器規格的AC伺服電機
S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓
晶圓固定方式:真空吸附式,下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式
手指材質:CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質
可以針對被搬運物體種類,設備布局等要求提供的手指
3軸圓柱坐標潔凈晶圓搬運機械手臂基本參數:
使用環境
潔凈間內的大氣環境
手臂
單臂
到達距離
400mm (手臂第3關節中心到達距離)
升降軸行程
300mm / 400mm / 500mm
可搬運質量
4kg (手臂第3關節處基準)
如需詳細產品參數 請聯系我們
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