低溫等離子凈化器所用工藝是在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、極板激發去。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。
1：微波激發區
等離子凈化
本工藝有3至9個微波激發單位，根據被處理風量的不同數量不同，微波由于它的頻率相對比較高，在納秒的時間內有效作用于被處理空間（區域），由于微波的功率相對較小，因此在激發能力上也就是說電子的獲能躍遷能力上有限，本設計只是把微波作為初頻激發源，在處理過程中作為一種預激發能。由于微波的預激功能，極大的提高等離子體區，極板區的激發能力和處理效果，由于微波技術的運用，本工藝在同類設備的比較中顯得設備精煉而效果*。
2：低溫等離子體激發
本工藝有40支至240支充有特殊氣體的無極管組成的低溫等離子體激發區，低溫等離子體區是工藝的核心技術，國外諸多科研機構室稱在常壓下實現低溫等離子體。從大量的試驗分析，常壓低溫等離子體要在工業中應用存在的困難仍舊很大，本工藝借助低氣壓的無極燈作為低溫等離子體的激發體，限度地在無極管區實現低溫等離子體區，由于低溫等離子體在能量躍遷過程中具有的能量平衡性，在粒子撞擊中失能極少，所以低溫等離子體作為原子激發是的一種能。在實踐應用中，的科題在于低氣壓究竟是多少帕？管內充什么樣的氣體經濟價值？這沒有理論模型可言，只有通過實踐、實驗、分析。
3:極板區
根據被處理氣體的流量，極板間的電壓分12KV、16KV至42KV，極板間加以足夠高的電壓，在引風的作用下，極區由于負壓的作用，按照法拉第暗區理論、光致電離理論、自由離理論，在常壓或接近常壓的條件下有相當概率的粒子可能實現低溫等離子體。
根據三類的功能區，集中的目的是實現低溫等離子體，由于理論和實際使用條件上的區別，單一的方法獲得低溫等離子體，從功率上，外部條件上都存在差距。本工藝集三種技術與一體，經山東、江蘇、浙江三地多家醫藥、化工企業的實地測試，原廢氣的去除率非常理想，根據尼普公司的測試，高濃度廢氣去除率可達84%以上。
電催化氧化工藝集低溫等離子體、微波放電、極板放電與一體，在實際使用中實現廢氣的有效處理是極為復雜的過程，整個過程在不到1秒的時間內完成。從理論到模型都能探究到相關的機理，通過三種方式的集中放電，廢氣分子從低能的E,在千分之一秒的時間內躍遷到足以使其電離的Em級，廢氣分子鍵充分斷裂，在雪崩式的撞擊中斷裂后的粒子由于質量更小，被進一步躍遷，與反應堆內的氧離子氫氧根離子發生反應，生成無害無味的CO2、H2O以及其它高價化合物。同時由于反應堆內臭氧以及紫外線的作用，去除不同范疇的廢氣化合物，實地較為廣譜的去除空間。
低溫等離子體去除污染物的機理：
等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
(1) 電場＋電子→高能電子
(2) 高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團
(3) 活性基團＋分子(原子)→生成物+熱
(4) 活性基團＋活性基團→生成物+熱
從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。
低溫等離子凈化器產品有哪些優勢？
適用范圍廣：凈化效率高，尤其適用于其它方法難以處理的多組分廢氣，如化工，醫藥等行業，電子能量高，幾乎可以和所有的廢氣分子作用；運行費用低；反應快，設備啟動，停止十分迅速，隨用隨開。
高效靈活：高效捕集不同粒徑的油霧粒子，凈化效率高，從根本上解決了復雜的廢氣組成不能逐一凈化的難題，凈化單元可以靈活組合，根據不同的凈化處理量及凈化率要求，單元數量可作調整。
方便*：凈化單元采用分體抽屜式結構，易于安裝，維護，清洗特別方便，電源控制系統可自動調節電場強度，使凈化設備在長期運行后仍保持較高的凈化率。
安全穩定：安全系統設計周密，檢修門被打開，高壓電源即自動切斷；高壓電源精心設計成環氧樹脂嚴密封閉的單元體，使用安全可靠；采用了大型機所運用的閃絡跟蹤技術，可配備遠程控制系統，大大提高運行運行的安全系數，電源控制系統具有過流過壓自動保護裝置，保證設備穩定運行。
低溫等離子凈化器特點：
節能：使用壽命長，節能高效比傳統技術節能50%以上。
占地面積?。褐悄?能自動判斷工作運行狀態，并顯示相應的工作指示燈。
低溫等離子凈化器工作原理：
低溫等離子體是繼固態，液態，氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，有機氣體被擊穿，產生包括電子，各種離子，原子和自由基在內的混合體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子，自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以產生一系列水，二氧化碳等碳水化合物以達到降解污染物的目的。
低溫等離子凈化器應用范圍：
低溫等離子體技術在歷經多年研發生產，該技術已經能夠穩定的應用于污水處理廠，石油化工，制藥，污水處理，涂料，皮革加工，感光材料，汽車制造，食品加工廠，印染廠，垃圾處理廠，公廁，屠宰場，牲畜飼養場，魚類加工廠，飼料加工廠等諸多能夠產生惡臭異味的場所。
